| Обозначение: |   ГОСТ Р ИСО 14644-14-2023 |
| Статус: | действующий |
| Название рус.: | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации аэрозольных частиц |
| Название англ.: | Cleanrooms and associated controlled environments. Part 14. Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration |
| Дата актуализации текста: | 01.07.2023 |
| Дата актуализации описания: | 01.01.2024 |
| Дата издания: | 18.04.2023 |
| Дата введения: | 01.01.2024 |
| Аутентичен стандартам: | ISO 14644-14:2016 |
| Нормативные ссылки: | ISO 14644-1:2015;ISO 14644-3:2005 |
| Область применения: | Настоящий стандарт устанавливает методику оценки пригодности оборудования (например, технологического оборудования, контрольно-измерительных приборов, частей и инструментов) к использованию в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых зонах по концентрации аэрозольных частиц в соответствии с ИСО 14644-1. Размер частиц находится в пределах от 0,1 до 5 мкм согласно ИСО 14644-1 |
|
|
