Скачать ГОСТ Р 8.627-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

Дата актуализации: 01.01.2024

ГОСТ Р 8.627-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

Обозначение: ГОСТ Р 8.627-2007
Статус:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
Название англ.:State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.07.2023
Дата издания:24.04.2007
Дата введения:01.07.2007
Нормативные ссылки:ГОСТ 8.195-89;ГОСТ 8.197-2005;ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике
ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007